千級無塵車間主要是過濾大於或等於0.5UM塵埃粒子,其送風量按換氣數一般在50次以上。那麼無塵車間是指一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一要求範圍內,而所給予特別設計之房間。