十萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小於352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小於29300(pc/m3)。十萬級無塵車間用於液壓設備或氣壓設備的裝配
，某些情況下也用於食品飲料工業
，此外十萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

十萬級淨化潔淨室換氣次數估算：十萬級潔淨室不小於15次/h。